超声波抛光具有较好的表面质量，不会产生表面烧伤和表面变质层。其表面粗糙度可以达到Ra小于0.16μm，基本上能满足塑料模以及其他磨具表面粗糙度的要求。超声波抛光的表面，其表面粗糙度数值的大小，取决于每粒磨料每次撞击工件表面后留下的凹痕大小，它与磨料颗粒的直径、被加工材料的性质、超声振动的振幅以及磨料悬浮工作液的成分等有关。
当磨粒尺寸较小、工件材料硬度较大、超声振幅较小时，加工表面的粗糙度将得到改善，但生产率也会随之降低。
磨料粒度是决定超声波抛光表面粗糙度数值大小的主要因素，随着选用磨料粒度的减小，工件表面的粗糙度也随之降低。采用同一种粒度的磨料而超声振幅不同，则所得到的表面粗糙度也不同。下表给出了各种磨料粒度在大、中、小三种不同超声振幅下所能达到的最终表面粗糙度。
磨料粒度与表面粗糙度
|
金刚石研磨块粒度 |
输出 |
表面粗糙度/μm |
金刚石研磨块粒度 |
输出 |
表面粗糙度/μm |
|
200# |
大 |
3.5 |
600# |
大 |
0.7 |
|
200# |
中 |
3.0 |
600# |
中 |
0.6 |
|
200# |
小 |
2.5 |
600# |
小 |
0.4 |
|
400# |
大 |
1.5 |
1000# |
大 |
0.25 |
|
400# |
中 |
1.0 |
1000# |
中 |
0.2 |
|
400# |
小 |
0.8 |
1000# |
小 |
0.15 |
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